經(jīng)過感應(yīng)淬火后的工件還要繼續(xù)進行回火工藝處理，這樣做的目的是為了降低它的淬火應(yīng)力，避免產(chǎn)生淬火裂紋，使工件可以達到所要求的合適的硬度。一般情況下，高頻淬火設(shè)備感應(yīng)淬火后的工件需要經(jīng)過回火工藝大致有三種：自回火、爐內(nèi)回火、感應(yīng)回火。

1、自回火，由于工件在進行淬火時，冷卻不能進行到底而提前中斷，使相鄰硬化層的心部的殘余熱量傳遞到硬化層，從而使淬硬層再次進行加熱，達到一定的回火溫度，使工件硬化層得到所要求的的組織和性能。簡單來說自回火就是工件利用心部的余熱將淬硬層的表面進行加熱回火。自回火工藝適合大量生產(chǎn)的廠家，只適用于加熱后心部有足夠殘留熱量的工件，并且能夠均勻的將殘留的熱量傳遞到淬硬層的各個點上。否則的話，工件在自回火后，淬火表面各個區(qū)域的硬度是不一致的，而且淬硬的表面和沒有淬火的表面交界處的硬度比中心區(qū)域部分高，嚴重一點有的區(qū)域就沒有進行自回火。

自回火工藝的優(yōu)點是不僅省去一套回火設(shè)備，節(jié)能，減少勞動力，還具有及時性，工件在進行高頻淬火設(shè)備淬火后一般要求及時回火，防止工件因回火不及時產(chǎn)生開裂的效果。

2、爐內(nèi)回火，這種回火工藝只適用于小工件，或者是油中淬火和浸液淬火的工件。那么為了避免工件在淬火后因為應(yīng)力太大而產(chǎn)生裂紋，我們通常會對其進行回火工藝處理。回火的溫度是根據(jù)工件的技術(shù)要求決定的，在爐內(nèi)進行回火處理。

3、感應(yīng)回火，該工藝是利用原先淬火的感應(yīng)加熱裝置降低功率對工件進行回火處理，這種工藝優(yōu)點是節(jié)能，設(shè)備體積小，縮短了生產(chǎn)周期，可一次裝卸完成淬火回火工序，適用于流水線生產(chǎn)方式。

感應(yīng)回火工藝比爐內(nèi)回火工藝更具有廣泛性，因為它的加熱時間短，生產(chǎn)率高。可以使工件得到比較穩(wěn)定良好的力學(xué)性能。所以工件在進行高頻淬火設(shè)備淬火后，通常進行自回火或者感應(yīng)回火。